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探針冷熱臺(tái)是專為材料變溫電學(xué)性能表征而設(shè)計(jì)的原位測(cè)試平臺(tái)，用于研究樣品電學(xué)參數(shù)隨溫度變化的規(guī)律。
探針冷熱臺(tái)是專為材料變溫電學(xué)性能表征而設(shè)計(jì)的原位測(cè)試平臺(tái)，用于研究樣品電學(xué)參數(shù)隨溫度變化的規(guī)律。
該設(shè)備采用液氮制冷與電阻加熱復(fù)合溫控系統(tǒng)，可在-190°C至600°C范圍內(nèi)對(duì)樣品臺(tái)實(shí)現(xiàn)精確穩(wěn)定的溫度控制。該系統(tǒng)具備優(yōu)異的集成兼容性，可輕松與光學(xué)顯微鏡及各類電學(xué)測(cè)量?jī)x表（如源表、萬(wàn)用表等）聯(lián)用，共同構(gòu)建一套完整的變溫原位電學(xué)測(cè)試解決方案。
二、儀器主要技術(shù)參數(shù)：
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型號(hào) |
TCK600-190-4C |
TCK600-190-4 |
TCK600-190-2e |
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溫控模塊 |
冷熱方式 |
液氮致冷，電阻加熱 |
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溫控范圍 |
-190～600℃ * |
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溫度穩(wěn)定性 |
±0.1℃ * |
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溫度分辨率 |
0.1℃ |
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升降溫速率 |
0~50℃/min（可定點(diǎn) / 程序段控溫） |
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溫控方式 |
PID |
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溫度傳感器 |
PT100 |
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光學(xué)特性 |
光路 |
反射光路 *可升級(jí)為透射光路 |
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視窗材質(zhì) |
石英玻璃 * |
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視窗尺寸 |
Φ25mm * |
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物鏡工作距離 |
8mm * |
10mm * |
12.5mm * |
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透光孔 |
默認(rèn)無(wú)透光孔 *可升級(jí)透光孔 |
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視窗除霜 |
負(fù)溫下吹氣除霜 |
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電學(xué)特性 |
探針 |
磁吸式探針x4（鎢鋼鍍金），手動(dòng)定位 * |
固定式探針x4，手動(dòng)定位 * |
電控位移探針x2 * |
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探針接口 |
BNC接口x4 * |
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樣品臺(tái)面電位 |
默認(rèn)電懸空 *可選電接地 |
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結(jié)構(gòu)特性 |
樣品臺(tái)尺寸 |
23×23mm * |
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樣品臺(tái)材質(zhì) |
銀質(zhì) * |
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外形尺寸 |
120×100×30mm * |
160×150×30mm * |
110×170×45mm * |
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樣品腔高度 |
7mm * |
8.5mm * |
10.5mm * |
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XYZ位移行程 |
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±6mm |
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探針位移精度 |
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5nm |
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腔室 |
氣密 *可升級(jí)真空 |
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外殼冷卻 |
循環(huán)水 |
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基本配置 |
微型探針冷熱臺(tái)x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、連接管路若干 |
探針冷熱臺(tái)x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、連接管路若干 |
電控探針冷熱臺(tái)x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、循環(huán)水系統(tǒng)x1（高溫配置）、連接管路若干 |
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其他配置 |
電腦主機(jī)/安裝支架/真空系統(tǒng)/三同軸BNC/循環(huán)水系統(tǒng)/定制溫控軟件 |
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